秋山教授が世界初の方式による超高感度水素ガスセンサの国内特許を取得

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秋山教授が世界初の方式による超高感度水素ガスセンサの国内特許を取得

2020.12.18更新学科レポート
[電気電子システム学科]

　秋山教授が、水素ガスセンサの国内特許を取得しました[1]。このガスセンサは、半導体であるセレンナノワイヤー(SeNW,ナノメートル＝10億分の1メートル)に流れる電流の水素ガスによる変化を検出するものです。
　これまで発明したセンサ[2]は、有機ガス検出用で、水素ガスの検出は不可能でした。秋山教授は、これまでのSeNWセンサに触媒金属ナノ粒子薄膜層と絶縁薄膜層を取り入れて改良し、有機ガスの影響を受けない高感度水素ガスセンサを作製しました（図1）。このセンサによる水素ガス検出スペクトルの一例を図2に示します。燃料電池などに用いられる水素ガスもれ検出などへの応用が期待されています。詳細は、本学研究・社会連携部へお問い合わせください。

[1] 「ガスセンサ」特許第6782488号.
[2] 特許第5120904号, U.S.Patent 9134265, Korea Patent 10-144788,
特許第5804438号,特許第6233858号, U.S.Patent 9759676,
特許第6099056号, U.S.Patent 10830723.

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